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<正>0引言微小颗粒分离在很多领域中有着广泛的应用,比如化学工程、生物工程等[1-6]。传统的分离方式包括离心机分离与筛子分离[7]。然而,离心式的分离方法在颗粒数量比较小的情况下使用起来不方便,并且分离的精度很难控制。筛子的方式只能分离尺寸不同的颗粒,而在多种颗粒具有相同尺寸的场合就不适用[8]。本文提出了一种基于悬臂板面内与面外振动