【摘 要】
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<正>1前言多晶硅的生产方法主要有三氯氢硅法、网氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷化法,其中以三氯氢硅法为主。目前对三氯氢硅还原生产多晶硅体系已有很多研究。根据研究该体系
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<正>1前言多晶硅的生产方法主要有三氯氢硅法、网氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷化法,其中以三氯氢硅法为主。目前对三氯氢硅还原生产多晶硅体系已有很多研究。根据研究该体系内可能发生的反应如下:SiHCl3（g）→SiCl2（g）+HCl（g）（1）4SiHCl3（g）→Si（s）+3SiCl4（g）+H2（g）（2）
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