用CMP技术减小多晶硅表面的粗糙度

来源 :第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwqcy1021
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通过对Poly-Si CMP工艺各参数的优化,采用Pad UR-100,Slurry Nalco 2360,Table speed80RPM,Carrier Speed 50RPM,Down Pressure 2psi,Slurry flow rate 200ml/min的条件获得了表面粗糙度35A的好结果。
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