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利用2kWCO<,2>激光器作为激光照射源,采用测量精度为±0.03μm的Twyman-Green干涉仪、CCD摄像技术、计算机数据采集与处理系统,对普通硅镜和相变致冷硅镜在强光照射下不同时刻的热变形进行了实时对比测量,得到了在不同激光照射时间下镜面热变形的干涉条纹序列图以及热变形量随激光照射时间的变化实验曲线.