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光刻机作为光刻工艺的关键设备,超精密工作台是实现光刻机纳米级运动和定位精度的核心部件.仿真的工作台是由粗动台和微动台构成,系统行程达300mm×300mm,同步和步进速度达1.20m/s,加速度超过1g,定位精度高于10nm.首先计算气浮轴承承载力特性曲线;然后运用ADAMS建立多体动力学模型,对工作台的动态特性进行了分析.