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本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结。重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
水溶性光致抗蚀剂研究进展
【摘 要】
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本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结。重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
【机 构】
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北京师范大学化学学院;
【发表日期】
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2004年期
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