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对4H-SiC外延表面缺陷的种类、形貌特征和形成机理进行了简要介绍。结合外延表面缺陷形成机理和实际外延生长经验,对不同种类表面缺陷的改善提出了一些建议和方案。希望通过该介绍有利于增强人们对4H-SiC外延表面缺陷的认识和了解。
4H-SiC外延表面缺陷简介
【摘 要】
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对4H-SiC外延表面缺陷的种类、形貌特征和形成机理进行了简要介绍。结合外延表面缺陷形成机理和实际外延生长经验,对不同种类表面缺陷的改善提出了一些建议和方案。希望通过
【机 构】
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瀚天天成电子科技(厦门)有限公司;
【发表日期】
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2004年期
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