微米级薄膜弯曲力学性能测量新技术及装置研制

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本文改进了经典的St?lken-Evans加-卸载微梁弯曲测量方案,基于非接触式表面轮廓仪,发展了一种高精度和宽量程的微梁弯曲测试技术,并研制了相关装置。采用该技术可以有效地消除传统微弯曲实验中的系统误差。装置的弯矩分辨率在0.1μNm量级,表面应变的分辨率高达微应变量级。采用该装置对厚度为10-125μm的多晶镍薄膜进行了弯曲实验,结果表明:(1)该装置可以同时获得弹性区域、屈服点处和高塑性应变区域的数据,进而得到完整的弯矩-表面应变关系曲线;(2)对比不同厚度和不同晶粒尺寸的镍薄膜测量结果,发现晶粒尺寸效应和应变梯度效应之间存在相互作用,其关系强烈依赖于晶粒尺寸;(3)利用钝化/非钝化薄膜弯曲实验,验证了"应力跳跃"现象的存在性,为发展合理的应变梯度塑性理论提供了重要实验支撑。
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