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<正>近几年,图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底,不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度[1,2],还能提高LED的光提取效率[3],从而引起了LED产业和学术界的广泛兴趣。本文介绍了蓝宝石图形衬底的一种新的制备方法,即通过高温退火热处理固相外
高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备及评价
【摘 要】
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<正>近几年,图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底,不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度[1,2],还能提高LED的光提取效率[3],从而引起了LED产业和学术界的广泛兴趣
【机 构】
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哈尔滨工业大学深圳研究生院; 哈尔滨工业大学;
【发表日期】
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2004年期
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