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本文介绍了混合集成电路内部气氛控制办法.文章从截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果.
混合集成电路内部气氛研究
【摘 要】
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本文介绍了混合集成电路内部气氛控制办法.文章从截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显
【机 构】
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中国电子科技集团公司第24研究所,重庆,400060
【出 处】
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第十四届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2005年期
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