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简述了微束分析仪器电子探针(EPMA)和扫描电镜(SEM)的原理、功能及不同的特点,并通过使用岛津EPMA测试一系列不同种类含稀土的试样,包括稀土矿物、稀土处理不同类金属合金、稀土催化剂及光纤等方面的应用案例,展示了EPMA高分辨率和高灵敏度的两个特性在稀土元素特征能量非常接近及添加量很低的情况下,都能获得满意的测试结果。说明EPMA无论在地矿勘探评价、基础研究、产品开发及成品检验等领域都可发挥重要的应用。