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针对大直径石墨热场进行8英寸单晶硅棒生长工艺进行了研究和探讨,分析了单晶炉内热对流、温度、工艺参数对于单晶生长的影响,对一系列预设工艺参数进行了验证,最终确定出了一套稳定的SOP工艺参数,适用于大直径石墨热场进行8英寸无位错单晶硅棒的生长.
大直径石墨热场单晶生长工艺的研究
【摘 要】
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针对大直径石墨热场进行8英寸单晶硅棒生长工艺进行了研究和探讨,分析了单晶炉内热对流、温度、工艺参数对于单晶生长的影响,对一系列预设工艺参数进行了验证,最终确定出了一
【机 构】
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特变电工新疆新能源股份有限公司 830011新疆 乌鲁木齐
【出 处】
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第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛
【发表日期】
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2013年期
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