电子背散射衍射(EBSD)技术是材料显微分析领域的强有力的工具,通过安装EBSD附件的扫描电镜,可以对试样的晶体结构进行分析,使显微组织形貌观察、微区化学成分分析及晶体学数据分析相互联系起来,拓展了扫描电镜的功能及应用。本文介绍了电子背散射衍射技术成像的原理,采用电解抛光技术制备了纯钛薄板的电子背散射衍射测试试样。并应用电子背散射衍射技术对纯钛试样的晶体取向、织构、微区取向差进行了测量。结果表明:电解抛光技术是制备纯钛电子背散射衍射测试试样的理想方法,采用电解抛光技术可以去除纯钛试样的残留应变层,获得高质量的电子背散射花样。取向分布图不仅可以反映纯钛试样的组织形貌,同时也反应着其晶体学信息。轧制后的纯钛薄板具有较强的织构组分,并且纯钛晶粒内部存在着微小的取向差,这主要是由于纯钛在塑性变形过程中,晶粒发生分裂,所有晶粒分裂为胞块与位错胞,这种晶内亚结构造成了晶粒内部存在取向差。