【摘 要】
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<正>移相技术是当前光学元件波面检测的主要方法,按移相方式可以分为空域移相方式和时域移相方式,其中压电陶瓷实现移相(PZT)为代表的移相技术和干涉仪,实际生产应用最为广泛
【机 构】
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南京理工大学; 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心;
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<正>移相技术是当前光学元件波面检测的主要方法,按移相方式可以分为空域移相方式和时域移相方式,其中压电陶瓷实现移相(PZT)为代表的移相技术和干涉仪,实际生产应用最为广泛。在测量平行平板类元件时,干涉仪测量将产生多表面干涉,若用传统的硬件移相算法计算多表面干涉将会产生很大的误差,目前常用的方法主要是抑制被测平行平板后表面的反射,如涂折射率匹配的消光漆或凡士林,但是该方法操作不便且不能完全去除非测量面的干涉影响。波长调谐相移与压电陶瓷(PZT)相移技术不同的是光源频率变化引起的相移变化量与两相干光束的光程差成正比。在波长调谐的过程中干涉条纹的强度将在时域内按正弦规律变化,不同光程差其条纹强度变化的频率不同。因此,只要合理的设计干涉腔的结构参数,使不同表面反射波
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