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本文根据集成电路等制作技术不同发展阶段对超净高纯试剂和光刻胶的不同要求,阐述了国内外超净高纯试剂和光刻胶的现状、应用及发展状况等。
我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展
【摘 要】
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本文根据集成电路等制作技术不同发展阶段对超净高纯试剂和光刻胶的不同要求,阐述了国内外超净高纯试剂和光刻胶的现状、应用及发展状况等。
【机 构】
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北京化学试剂研究所;
【发表日期】
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2004年期
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