近年来半导体晶圆厂随著新世代制程技术演变,产品由8吋晶圆演变成12吋晶圆,生产厂房面积也越来越大,相对生产厂房耗能也提高。半导体厂耗能除了制程设备外,厂务系统则占了大半的能源消耗。厂务系统包含了冰水系统、外气供应系统、循环空气系统、排气处理系统、真空系统、制程冷卻水系统、超纯水系统、压缩空气系统等。在国际能源日渐短缺,能源费用日趋高涨,节能方案推动为高耗能半导体厂不可或缺的项目。故本研究以一座12吋半导体厂洁净空调系统与厂务设施进行节能案例研究,节能方案为案例1有机物处理系统采用直燃式与蓄热回收式瓦斯耗能比较、案例2冷卻水塔用高低速运转与变频器能源消耗比较、案例3无尘室低真空系统采用Phone Call控制PUMP起停、案例4无尘室外气空调箱采用Run Around系统热回收,节约能源效益案例1每年瓦斯费用可节省9,881,616元、案例2每年可节省2,398,913元、案例3每年可节省317,004元、案例4每年可节省1,738,758元。