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本文叙述了快速热扩散炉的研制,进行了晶体硅快速扩散的实验研究,测量了扩散杂质浓度分布及结深,并与传统热扩散进行了对比。
快速热扩散炉及快速扩散特性研究
【摘 要】
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本文叙述了快速热扩散炉的研制,进行了晶体硅快速扩散的实验研究,测量了扩散杂质浓度分布及结深,并与传统热扩散进行了对比。
【机 构】
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云南师范大学太阳能研究所、能源与环境科学学院;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家“863”资助项目(2001AA513040)
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