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<正>与电化学型、光学型、质量型等气体传感器件相比,半导体型气体传感器件因其结构简单、灵敏度高、使用寿命长、极易微型化等特点,是目前应用最为广泛的气体传感器件,并且是下一代MEMs集成式微型气体传感器件研究开发的重点。通过前期摸索,在掌握半导体型气体传感器件批量制作工艺基础上,持续开展与现有器件制作工艺相兼容的高性能、特种气敏材料研制。