静电放电对双极型硅器件造成潜在性失效的研究

来源 :中国物理学会第十五届静电学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ode

【摘要】

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研究了静电放电(ESD)对双极型硅器件造成的潜在性失效．发现利用直流放大倍数hFE及反向漏电流ICEO可以检测双极型硅器件是否受到ESD潜在性损伤．实验研究表明，ESD对双极型硅器件可

【作者】

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武占成胡有志杨洁祁树锋

【机构】

：

军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北,石家庄050003

【出处】

：

中国物理学会第十五届静电学术会议

【发表日期】

：

2009年8期

【关键词】

：

静电放电双极型硅器件潜在性失效

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研究了静电放电(ESD)对双极型硅器件造成的潜在性失效．发现利用直流放大倍数hFE及反向漏电流ICEO可以检测双极型硅器件是否受到ESD潜在性损伤．实验研究表明，ESD对双极型硅器件可造成事件相关和时间相关的潜在性失效;对于多次接触低于ESD损伤阈值的器件来说，存在积累失效效应；高频低噪声硅晶体三极管内部的潜在性失效不仅与注入的ESD电压有关，而且与ESD注入的次数也有一定的关系．

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