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通过力学性能数字实验模拟及校准，建立了碳化硅的离散元模型，对其微加工过程进行了动态模拟，分析了不同切削速度，切削深度及刀具前角等加工条件下残余应力随工件深度方向分布的影响，结果表明：残留在工件内的残余应力随切削速度以及切削深度的增加而增加;当刀具前角处于小负前角时(-200°～0°)，切削后的残余应力较小，否则当前角过大或者过小时，会产生很大的残余应力。最后完成了不同加工条件下的残余应力云图，通过分析残余应力产生的机理，验证了利用离散元法分析残余应力的方法是可行的。