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<正>硅被认为是最有可能代替碳基材料,成为下一代锂离子电池的负极材料。硅负极材料拥有放电电压低、容量大、极化小、环境友好和储量丰富等有点,然而,脱嵌锂过程中巨大的体积变化导致了电极容易发生断裂,并且从集流体上脱落,从而严重的影响了硅负极材料的循环稳定性[1-2]。为了深入研究硅材料在锂离子嵌入和脱出过程中体积形变的过程,我们通过非原位原子力显微镜和扫描探针显微镜对柱状硅薄膜电极[3]、致密硅与纳米硅钛复合薄膜[4]和硅纳米线[5]在充放电过程中体