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<正>铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池具有性能稳定、寿命长、光电转化效率高等特点,是目前最有发展前景的太阳能电池之一。然而铜铟镓硒电池不同于传统的硅太阳能电池,其多晶结构薄膜比单晶结构薄膜组装的太阳能电池转化效率要高已经得到证明。本文通过磁控溅射方法,用单个的三元的Cu-In-Ga合金靶材制备铜铟镓薄膜,利用不同的退火硒化过程,获得的具有不同晶粒尺寸的多晶结构薄膜。