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应用分子动力学方法对四种不同厚度单晶铜薄膜的拉伸测试过程进行模拟,从微观角度揭示了尺度效应对材料性能的影响。分析结果表明:对于纳米尺度铜薄膜,厚度是影响薄膜屈服强度的主要因素。随薄膜厚度减小,屈服强度明显增加。这是由于:在超薄铜膜中,位错的萌生和运动受到约束,不容易产生几何需要位错。此外,研究发现:薄膜的塑性变形主要来自于原子的局部滑移。