【摘 要】
：
分别采用中频磁控溅射、可控阴极弧及两者复合方式制备了四组TiN薄膜,采用朗缪尔探针对不同方式沉积环境等离子密度进行测试,并采用扫描电镜、XRD、纳米压痕、划痕仪及摩擦磨
【机 构】
：
中国航空制造技术研究院高能束流加工技术重点实验室; 大连理工大学材料学院;
论文部分内容阅读
分别采用中频磁控溅射、可控阴极弧及两者复合方式制备了四组TiN薄膜,采用朗缪尔探针对不同方式沉积环境等离子密度进行测试,并采用扫描电镜、XRD、纳米压痕、划痕仪及摩擦磨损实验仪对薄膜微观形貌、化学成分、力学性能及磨损性能进行了比较分析,实验结果发现等离子密度分布与薄膜沉积场源有直接关系,同时不同加工方式直接影响涂层的致密度、力学及磨损性能,其中采用可控阴极弧与磁控溅射源共沉积方式下制备的TiN薄膜质量明显优于单纯磁控溅射或弧沉积,薄膜致密度最高,表面粗糙度为0.056微米,硬度35GPa,磨损寿命明显提高。
其他文献
在介绍影响减水剂性能主要因素的基础上,以某高速公路某标段拌合站原料为例,从试验原材料、试验方法和试验内容3个方面,探讨砂浆法测试减水剂对混凝土原材料的适应性。结果表
铁楼是甘肃省文县唯一的藏族乡，近年来铁楼乡道路基础设施建设、农业综合开发、教育医疗卫生等都取得了前所未有的成就，同时，铁楼因地理、历史及环境等众多因素的影响，经济社会发
针对滨海盐渍土的特点,采用4种盐碱土改良剂在滨海盐渍土上单独施用和与石膏配合施用,研究施用后对盐渍土离子组成的影响。结果表明:施用改良剂与石膏后,在0～40 cm土层,盐渍土
聚乙烯乙醇水化海藻盐泡沫（VSD）材料是最近临床上针对皮肤软组织缺损采取的又一有效覆盖创面的方法,VSD通过负压封闭引流能调节慢性创面中活性明胶酶的活性-（[1]）,利用物理方法促
随着科学的迅速发展,越来越多的新技术应用于建筑电气中,用电设备正向着高效率,安全美观的方向发展。文章结合工程实践,对办公大楼内的照明设计及与其相关的配电方式、负荷计
【正】 江(长江)、淮(淮河)、河(黄河)、济(济水)古称“四渎”。“四渎”皆独流入海。淮河水系介于黄河与长江之间。因为黄河易淤善决,而且决多南犯,故对淮河水系影响极大;又
目的 研究布地奈德混悬液对慢性鼻窦炎患者在功能性鼻内镜鼻窦术后换药中的临床应用效果。方法 选择260例慢性鼻窦炎患者为研究对象。对照组除常规换药外,用布地奈德鼻喷剂喷
以图书馆收藏这样的方式被记录、保存下来的音乐典籍,是音乐文化的集中呈现,带给当代人以视觉、听觉等各方面的享受,还能够传承下去,成为可以承载历史的载体,成为可以传播音
阐述了“百万大学生留汉创业就业计划”产生的背景;分析了武汉市中长期发展规划、产业发展空间布局规划和十三五规划对高职院校的需求;提出高职院校应围绕“百万大学生留汉创
7月23日,农业部种植业管理司和全国农技中心在辽宁沈阳召开北方农作物绿色防控现场会,全面动员和部署北方农作物绿色防控工作。会议要求,当前东北4省区要着力做
On July 23,