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提出了一种新型的极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该方法通过设计和高速监控波长,改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于对膜厚变化敏感的设计值.运用这一方法可以提高淀积规整膜系的层厚监控精度.
光学薄膜淀积监控方法研究
【摘 要】
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提出了一种新型的极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该方法通过设计和高速监控波长,改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于对膜厚变化敏感的设计值.运用这
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉)
【出 处】
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第十五届全国激光学术会议
【发表日期】
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2001年期
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