磁控溅射法在云母上制备透明导电薄膜

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用磁控溅射的方法在天然白云母上制备AZO透明导电薄膜、AZO/Ag/AZO三明治夹层结构透明导电薄膜。研究了溅射过程中,制备单层AZO薄膜与AZO/Ag/AZO三明治夹层结构中不同Ag夹层厚度对光学和电学性能的影响。结果表明:AZO/Ag/AZO三明治夹层结构透明导电薄膜比单层AZO薄膜的光电性能更好,并发现随着夹层Ag的逐渐增厚,透过率呈现降低的趋势,方阻呈现上升的趋势。薄膜在柔性云母基底上结晶度良好,并且能够得到较低电阻率和在可见光谱范围内平均透射率大于80%的光电性能优良的三明治夹层柔性导电基底。
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