【摘 要】
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近年来伴随着微机电系统与微等离子体的发展,微小电极间隙条件下的气体击穿特性受到广泛关注。当电极间距下降到微米级量级时,传统的Townsend击穿理论可能会失效。本文使用了
【机 构】
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北京理工大学物理学院; 北京理工大学机电学院;
【基金项目】
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国家自然科学基金(11475019)
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近年来伴随着微机电系统与微等离子体的发展,微小电极间隙条件下的气体击穿特性受到广泛关注。当电极间距下降到微米级量级时,传统的Townsend击穿理论可能会失效。本文使用了一种三坐标机械位移装置,在不同的气压与气体条件下,对于1-100μm电极间隙范围内三种不同电极结构(板-板,针-板,线-板)的击穿特性与伏安曲线进行了研究。实验结果表明在电极间距小于5μm情况下,传统大间隙下所使用的Paschen定律与Peek定律理论均已失效,击穿电压随间隙下降而下降。这一结果可能是由于场致发射或其他机制使得二次电子发射过程发生变化而导致的。
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