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<正>在高密多层陶瓷制作过程中,垂直互连是实现从电路布局从平面向三维集成的重要途径,也是LTCC工艺中的关键步骤。在LTCC器件或基板中,层与层之间的输入输出在垂直方向上以金属化通孔及导线相互连接,从而形成电气网络。其中,互连通孔的可靠性,将直接影响LTCC器件或基板的电性能和机械性能。
多层陶瓷电气互连可靠性及工艺优化
【摘 要】
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在高密多层陶瓷制作过程中,垂直互连是实现从电路布局从平面向三维集成的重要途径,也是LTCC工艺中的关键步骤。在LTCC器件或基板中,层与层之间的输入输出在垂直方向上以金属
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院;
【发表日期】
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2004年期
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