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<正>均匀液滴喷射技术(Uniform Droplet Spray,UDS)利用 Rayleigh 射流断裂的原理,通过压电激振器产生的振动使金属射流断裂为均匀的液滴,具备液滴尺寸单一、性能一致等优点,在可控性方面也有独到之处。在 UDS 工艺中,射流断裂产生的均匀液滴通过加电极板获得定量的电荷,通过外加偏转电场,可以精确