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本文主要介绍了微电子计量的目的和任务、技术领域和地位、工作和研究范围、单位制、部分专业技术名词和概念以及现行的量值传递方案。供热心研究的人员参考。
微电子计量测试技术初步
【摘 要】
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本文主要介绍了微电子计量的目的和任务、技术领域和地位、工作和研究范围、单位制、部分专业技术名词和概念以及现行的量值传递方案。供热心研究的人员参考。
【机 构】
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武汉数字工程研究所;
【发表日期】
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2004年期
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