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随着自动化技术的快速发展,自动化设备已经被大多数企业应用到实际生产过程中,自动化设备本文介绍的脱胶清洗插片一体机是根据客户发展的需要,用于半导体晶圆切割后的全自动预清洗、脱胶、清洗、干燥、插片,实现半导体晶圆从脱胶到插片入篮的自动化生产设备。
脱胶清洗插片一体机的研究与应用
【摘 要】
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随着自动化技术的快速发展,自动化设备已经被大多数企业应用到实际生产过程中,自动化设备本文介绍的脱胶清洗插片一体机是根据客户发展的需要,用于半导体晶圆切割后的全自动
【机 构】
：
天津环博科技有限责任公司;
【发表日期】
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2004年期
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