基于CCD的摆动扫描镜摆幅光电测量系统研究

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为解决摆动扫描式红外地球敏感器扫描镜摆幅实时动态非接触测试问题,本文采用基线阵 CCD 传感器件的光电检测技术,提出一种扫描镜摆幅激光动态测试方法,可实现扫描镜的摆动角度、摆动频率等参数的动态非接触测量。文中对摆动扫描镜摆幅动态测量理论进行了详细分析与探讨,设计了系统的组成和总体结构,通过建立系统的数学模型,解决了测量数据处理与误差修正问题,对测量系统的精度进行了实验测试。结果表明,系统的摆角测量范围为0~±12°,测量精度优于±0.05°,该动态摆幅测量方法是切实可行的。
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