InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能研究

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【摘要】

：

<正>采用热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38μm滤光膜的片上集成。利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了滤光膜的表面

【作者】

：

王云姬

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所;

【发表日期】

：

2004年期

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<正>采用热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38μm滤光膜的片上集成。利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了滤光膜的表面和界面形貌,结果表明滤光膜为三谐振腔结构,与膜系设计一致。对滤光膜光学特性和集成滤光膜InGaAs器件性能分析测试表明,滤光膜中心波长为1.38μm,

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