用于微流体油液检测芯片的电阻检测法

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为了提高微流体油液检测芯片对非铁磁性金属颗粒(铜)的检测精度和灵敏度,本文在电感法检测法的基础上提出了电阻检测法,并对检测芯片的电阻信号输出规律进行研究。介绍了电感法的检测原理及其检测缺陷,制作了实验用检测芯片并设计了检测系统。最后,实验分析了微流体油液检测芯片电阻信号输出规律。实验显示:检测80μm以下的铜颗粒时,电阻法的检测精度高于电感法;检测芯片其他参数不变,电感线圈匝数为800匝时,线圈电阻变化量为0.2093Ω;微流道直径为230μm时,线圈电阻变化量为0.1857Ω。油液中铜颗粒粒径小于80μm时,电阻法检测精度高于电感法;芯片中电感线圈匝数与电阻变化量呈线性关系,流道直径与电阻变化量同样为线性关系。
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