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本文从真空抽气系统、蒸发源、收放卷传动及张力控制,镀膜过程薄膜的冷却等几个方面进行分析、探讨提高先进水平的途径,对新一代卷绕式真空镀膜设备的开发提出有益的建议。
提高卷绕式真空镀膜设备先进水平的探讨
【摘 要】
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本文从真空抽气系统、蒸发源、收放卷传动及张力控制,镀膜过程薄膜的冷却等几个方面进行分析、探讨提高先进水平的途径,对新一代卷绕式真空镀膜设备的开发提出有益的建议。
【机 构】
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广东真空设备厂股份有限公司;
【发表日期】
：
2004年期
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