【摘 要】
：
<正>EUV光刻投影物镜极为苛刻的波像差要求对光学设计、光学加工和检测以及集成装调等提出了前所未有的要求。为了完成EUV光刻投影物镜光学元件的加工,光学面形检测设备的检
论文部分内容阅读
<正>EUV光刻投影物镜极为苛刻的波像差要求对光学设计、光学加工和检测以及集成装调等提出了前所未有的要求。为了完成EUV光刻投影物镜光学元件的加工,光学面形检测设备的检测精度要求达到深亚纳米级。点衍射干涉仪(PointDiffraction Interferometer,PDI)利用针孔衍射产生的近乎理想的球面波作为参考波面,消除了传统干涉仪中参考面的影响,理论上可以实现极高的检测精度。相移点衍射干涉仪的测量精度主要受系统误差的影响,通过绝对测量以提高检测精度;其测量重复性受限于组成系统的各元器件性能和环境,可设计特定的相位提
其他文献
本文从设计心理学视角思考,结合无障碍设计原则,通过案例分析得出老年无障碍产品设计启示。通过案例法分析嘉兰图S728老人手机和老年人开门式浴缸,阐述在老年人产品开发过程
当前我国已步入到老龄化社会,在此背景下老年人对公园环境的需求日益增长,因此将面向全体使用者的通用设计理念引入到公园标识系统设计之中具有了现实意义。本文首先分析当前
风力发电是新型的清洁能源,是一种不消耗矿物燃料的可再生能源,使用风电比使用常规能源发电要经济划算,其环境友好性及可再生性得到大家的认同。风力发电近年得到迅猛发展,风
科学教育语篇中的多模态特征是当前国际教育界关注的热点问题。系统功能语言学通过层次化的视角分析文字、图像、化学式等不同表征手段,进而剖析多模态构建意义的特殊方式,并
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
中国共产党战略思想是一门科学,有其特定的研究对象和发展过程.研究中国共产党战略思想,对于提高党的思想理论水平和战略思维水平、推动党的执政能力建设具有重要意义.
通过对西方的“丽达与天鹅”这一神话题材传统叙述的颠覆，叶芝在诗歌《丽达与天鹅》中探讨了英国殖民统治给爱尔兰带来的影响。诗歌用象征的手法暗示英国的殖民统治给爱尔兰带
【案情】$$ 2014年3月，原告甲公司与被告乙公司、被告张某因民间借贷发生纠纷，甲公司诉至法院，经法院主持调解，双方达成调解协议，乙公司、张某对该笔借款承担偿还责任。后因两