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为了提升硅微陀螺的性能指标,本文提出一种基于五阶级联谐振器前馈结构(CRFF)Sigma Delta机电调制器的检测闭环设计方法。首先,给出5阶纯电调制器的噪声传递函数设计流程以及理想最优化参数,并根据此参数设计CRFF结构的纯电调制器。然后在此基础上,根据等效变换原则对纯电调制器结构进行微调,将前2阶积分器与陀螺检测模态二阶系统进行等效替换,构成5阶CRFF机电调制器。最后,优化遗传算法的参数搜索区间以提升算法运行效率,对加入噪声与误差信号的机电模型进行分析,找出针对该机电结构鲁棒性最强的解,其仿真结果为信噪比98.4d B,位移0.2nm,带宽300Hz。上述仿真证明了提出的设计方法正确可行,具有快速收敛特性,并且其解具有较强的鲁棒性,具备工程实用价值。