电子工业用超高纯过氧化氢的制备工艺进展

来源 :中国无机盐工业协会过氧化物分会2013年行业年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：SF20070601ZW126com

【摘要】

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简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范.详细综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺,并总

【作者】

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于剑昆

【机构】

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黎明化工研究设计院有限责任公司,河南洛阳471000

【出处】

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中国无机盐工业协会过氧化物分会2013年行业年会

【发表日期】

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2013年10期

【关键词】

：

电子工业超高纯过氧化氢制备工艺技术分析

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简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范.详细综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺,并总结了各方法的优缺点.指出当前H2O2水溶液精制技术的发展趋势是将上述单一方法进行集成,同时重点介绍了将多种单元操作相集成来制备电子工业用超高纯H2O2水溶液的工艺.

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