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碳化硅功率器件

来源 :中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Liudeyuan123

【摘 要】

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本文从碳化硅半导体材料特性,碳化硅功率器件工艺和特性以及国内发展情况几个方面介绍碳化硅功率器件的研究现状和发展前景.

【作 者】

：

张玉明 张义门 

【机 构】

：

西安电子科技大学微电子所(西安)

【出 处】

：

中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会

【发表日期】

：

2002年12期

【关键词】

：

碳化硅功率器件 碳化硅 电气性能 阻断电压 功率开关器件 

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本文从碳化硅半导体材料特性,碳化硅功率器件工艺和特性以及国内发展情况几个方面介绍碳化硅功率器件的研究现状和发展前景.

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