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ITO靶材是信息产业极为重要的陶瓷材料,本文对国内外的商业ITO靶材及七二五所研制的ITO靶材的微观结构进行了分析,探讨了各厂家靶材的特点,分析了目前世界领先的ITO靶材优点及我国生产的ITO靶材与世界水平的差距,为今后我国ITO靶材产业的发展仅提供参考。
ITO靶材的微观结构分析
【摘 要】
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ITO靶材是信息产业极为重要的陶瓷材料,本文对国内外的商业ITO靶材及七二五所研制的ITO靶材的微观结构进行了分析,探讨了各厂家靶材的特点,分析了目前世界领先的ITO靶材优点
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南,洛阳,471039信阳师范学院,物理电子工程学院,河南,信阳,464000
【出 处】
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二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
【发表日期】
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2008年10期
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