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本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.
准分子激光微细加工光路变换的研究
【摘 要】
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本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院(北京)
【出 处】
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第十五届全国激光学术会议
【发表日期】
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2001年期
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