【摘 要】
：
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式光谱仪和紫外可见光光源（UV-VIS）建立了一套薄膜厚度测试装置。通过对薄膜样品反射光谱的测试,计算出薄膜的厚
论文部分内容阅读
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式光谱仪和紫外可见光光源（UV-VIS）建立了一套薄膜厚度测试装置。通过对薄膜样品反射光谱的测试,计算出薄膜的厚度。对薄膜无破坏作用,薄膜厚度测试范围为10nm～ 20μm。用此方法对 Si-SiO2膜厚度进行了测试,与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差＜5%。该方法测试简单、快速, 精度高,不需要制定仪器曲线,可对薄膜任意位置的厚度在线测试。采用这种方法对不同厚度的铀表面 U-UO2厚度进行了测试,测试数据与椭圆偏振仪进行了对比,测试误差＜5%。
其他文献
以湖南湘潭至衡阳高速公路西线加筋格宾挡墙为工程背景,通过采用MTS设备500 kN伺服激振器模拟地震荷载,基于红砂岩填料,研究了钢丝直径分别为2.2 mm和2.7 mm的两种双绞合六边
传统的模式教学受到新课改的大力冲击，必须在反思教学方法的前提下，进行新课程的改革。因为化学是建立在实验的基础之上的，所以化学和实验在新课程的冲击下必然走到一起。
2018年10月至2019年1月,郑州市文物考古研究院、荥阳市文物保护管理中心在配合荥阳市飞龙路学校基建项目过程中发掘了一批唐墓,均遭严重盗扰,其中两座唐墓出土有一批珍贵文物
一、设计理念小学阶段有较重的识字任务，识字教学是小学语文教学的重头戏之一。尤其是低年级，许多课时都是围绕识字展开。在汉字中，80％以上是形声字，如果让孩子掌握形声字的特点，利
针对非饱和及饱和南宁膨胀土进行了一系列室内试验研究，探讨了该膨胀土样的非线性流变特性。试验结果表明：一方面，对于一定含水率的非饱和膨胀土，在加荷初期2h内，随荷载增加，应变迅
提出了发动机性能试验多工况多指标的综合寻优,即针对13工况试验时,如何组合不同工况下的喷油提前角,使发动机的综合性能指标最优.采用了一系列数学变换的方法,将这个多目标
<正>战争向来是敌对双方斗智斗勇的活力对抗。斗智就要求驾驭战争的主体具备哲学素养。历史上著名的军事家大多是哲学家、至少具有深厚的哲学素养。因此,哲学素养对于初级指
当今社会，信息技术在素质教育中占据了极其重要的地位。加强信息技术与其他课程的“整合”对于实施素质教育、培养创新人才具有重要意义。数学教师必须从自己学科的角度来研究
英语写作教学是初中英语教学的一项重要内容，也是学生掌握比较薄弱的一环。讨论了如何抓好基本功的训练、开展形式多样的写作训练、进行行之有效的讲评改等问题，从而提高学生的
针对中等职业教育教学方法与课程模式面临的各种困境，研究探讨了项目教学法的优势、基本特征，结合中等职业学校的教学实际，详细阐述了项目教学法的实施步骤及注意事项。