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AIGaN薄膜是LED结构的重要组成部分.本文报告我们在AlGaN薄膜的MOCVD生长及p型掺杂研究的新结果.
AlGaN薄膜的MOCVD生长及P型掺杂研究
【摘 要】
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AIGaN薄膜是LED结构的重要组成部分.本文报告我们在AlGaN薄膜的MOCVD生长及p型掺杂研究的新结果.
【机 构】
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南京微结构国家实验室(筹),江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系
【出 处】
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第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009)
【发表日期】
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2009年10期
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