原位气相反应法制备TiC涂层的工艺研究

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本文采用原位气相反应法,分别以纯Ti粉和Ti-Si合金为Ti蒸汽形成源,在石墨基体上获得了致密的TiC层。研究表明,Ti源和反应温度的不同,所形成的TiC的晶粒大小和择优取向不同,且涂层的致密度也不同。采用Ti-Si合金为原料时,1500℃反应温度下的TiC晶粒尺寸为3μm左右,晶粒的择优取向面为(200);1600℃反应温度下TiC晶粒尺寸为12μm左右,晶粒的择优取向面为(111),且涂层的致密性明显提高。采用纯Ti为原料时,1850℃反应温度下TiC晶粒尺寸为11μm左右,晶粒的择优取向面为(200),且晶粒显示出明显的层状生长方式。
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