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简要介绍了脉冲功率技术的发展及应用领域、研究现状,提出了脉冲功率源面临的若干关键技术问题,分析了作为核心元件之一的半导体开关在脉冲功率技术领域的优势,介绍了 GCT,IGCT,IGBT,功率 MOSFET的最新发展.论述了利用可控等离子体工作的功率器件 RSD以及利用延迟冲击-电离波工作的超高速半导体开关 DS的基本工作原理.展望了功率半导体开关在脉冲功率领域的巨大发展潜力.