【摘 要】
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硅…家喻户哓的材料,从半导体到大规模集成电路,它巳经成为信息化时代的一大主柱。1976 年硅薄膜太阳电池诞生。本文就硅薄膜材料研制1 μm—1．65 μm红外滤光片,此材料也将发
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硅…家喻户哓的材料,从半导体到大规模集成电路,它巳经成为信息化时代的一大主柱。1976 年硅薄膜太阳电池诞生。本文就硅薄膜材料研制1 μm—1．65 μm红外滤光片,此材料也将发挥应有的作用。在这个波段中,红外滤光片常用的材料Ge、PbTe有吸收;而常用的可见膜料如:TiO2、SiO2,MgF3、 ZnS等在膜层较厚情况下存在膜层结构的问题,影响膜层的机械性能。我们通过几年的实践使用,可以证实Si、SiO2膜是一种优良的选择。已经成功地为航天遥感仪器制备了多种薄膜器件,并投入使用。
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