【摘 要】
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本文结合薄膜光学理论的抗反射条件和耦合波理论,优化设计了双层导模共振结构,通过抗反组合,共振旁带控制在5%以下,线形也有很好的对称性。在此基础上设计了氧化铪导模共振光
【机 构】
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上海理工大学,上海市现代光学系统重点实验室;
【基金项目】
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上海市科学技术委员会资助项目(08ZR1415400上海市自然科学基金,导模共振滤光片制备误差的调整技术研究,08DZ2272800上海市现代光学系统重点实验室建设项目,09QA1404200,上海市科技启明星,无标签高灵敏导模共振生物传感器的研究);国家自然基金资助项目(60908021,导模共振滤波片带宽控制新方法的理论及实验研究)
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本文结合薄膜光学理论的抗反射条件和耦合波理论,优化设计了双层导模共振结构,通过抗反组合,共振旁带控制在5%以下,线形也有很好的对称性。在此基础上设计了氧化铪导模共振光学生物传感器,RIU灵敏度为10-5,对样品折射率变化有较好的响应。本文提出,导模共振光学生物传感器的表面结构决定了传感器的灵敏程度,通过合理设计传感器的表面结构,不但可以提高导模共振光学生物传感器的灵敏度,也可以降低工艺上的制作难度,利于导模共振光学生物传感器的实际应用推广。
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