光学元件一体化精密轴向调整机构的设计

来源 :第四届全国信息光学与光子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:saosaoxp
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  为了使光学元件轴向调整机构满足调整行程大、调整精度高、结构紧凑、装调容易等要求,设计了一种一体化结构的光学元件轴向调整机构.结合有限元分析技术,建立了该型机构的参数化模型,分析了主要设计参数对调整机构的调整行程、一阶固有频率、最大应力值等主要技术指标的影响.结果表明:调整机构可以实现光学元件的精密轴向调整;柔性转轴片厚度和宽度分别为1mm 和0.8mm,柔性导向片的厚度和长度分别为0.6mm 和20mm 时,调整机构的调整量为67.45μm,一阶固有频率为119.1 Hz,且机构的最大应力值小于材料的屈服极限,满足光学元件轴向调整结构系统的设计要求.
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