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文章对28Si同位素的应用背景进行概述,并介绍分离28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状,认为同位素纯28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展.
28Si同位素应用背景及分离研究现状概述
【摘 要】
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文章对28Si同位素的应用背景进行概述,并介绍分离28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状,认为同位素纯28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展
【机 构】
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核工业理化工程研究院,天津,300180
【出 处】
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第四届北京核学会应用技术学术交流会
【发表日期】
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2006年10期
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