烧结型NdFeB永磁体表面磁控溅射镀铝的前处理工艺研究

来源 :2013年广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dandanCracker
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采用磁控溅射离子镀的方法在经酸洗、喷砂、抛光工艺处理后的NdFeB磁体表面沉积铝防护镀层,利用扫描电镜(SEM)、盐雾试验机分别表征了前处理后试样表面微观形貌、A1镀层的表面和截面形貌以及耐腐蚀性能,采用垂直拉伸法测量镀层与基体间的结合强度.结果表明:NdFeB磁体经不同的前处理工艺处理后,同一批次表面沉积的铝镀层的防腐蚀性能、与基体间的结合强度都有很大的差别.其中,酸洗样品的耐盐雾腐蚀时间最长可达240h,抛光样品的耐盐雾时间次之为200h,喷砂样品的耐盐雾时间最短为150h.拉伸试验测得喷砂样品膜/基结合强度最高为35MPa,抛光样品的膜/基结合强度为26MPa,酸洗样品的膜/基结合强度最弱为20MPa.
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